CMOS图像传感器(CIS)芯片,全称Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Image Sensor,是现代数字成像设备的核心组成部分。与早期的CCD(Charge-Coupled Device)传感器相比,CIS技术在性能、功耗、集成度及成本等方面展现出显著优势,从而主导了当前的图像传感市场。本文将围绕【cis芯片】这一核心,深入探讨与之相关的各项具体问题,从技术原理到实际应用,力求详细且具体。

### 【cis芯片】是什么?

#### 它的核心定义与组成

简单来说,CIS芯片是一种利用互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺制造的光电转换芯片。它能将入射的光子(光信号)转换成电信号,进而形成数字图像。

一个CIS芯片包含数百万甚至上千万个微小的像素单元阵列。每个像素单元通常由以下几个核心组件构成:

  • 光电二极管 (Photodiode): 这是将光子转换为电荷(电子)的核心部件。当光子照射到光电二极管时,会产生电子-空穴对,电子被收集起来。
  • 传输门 (Transfer Gate): 控制光电二极管中积累的电荷何时被转移到下一个阶段。
  • 复位晶体管 (Reset Transistor): 用于清除光电二极管或感应节点上的残余电荷,为下一次曝光做准备。
  • 源跟随器 (Source Follower / 读出放大器): 将积累的电荷量转换为电压信号。这个放大器位于每个像素内部(或紧邻),这是CIS与CCD的主要区别之一,CCD通常只有一个或少数几个放大器。
  • 选择晶体管 (Select Transistor): 用于选择和激活特定的行或列像素,以便读出其电压信号。

这些像素单元排列成二维网格,通过复杂的电路设计实现对每个像素电信号的顺序或并行读出。

#### 基本工作原理流程

CIS芯片的基本工作原理可以概括为以下步骤:

  1. 光照与电荷积累: 当光线通过镜头照射到传感器表面时,落在每个像素单元的光电二极管上。光电二极管吸收光子并产生与光照强度成正比的电荷(电子)。这些电荷在光电二极管区域积累起来。
  2. 电荷转移与转换: 在曝光结束后,传输门打开,将光电二极管中积累的电荷转移到一个感应节点(通常是浮动扩散区,Floating Diffusion)。
  3. 信号放大与读出: 位于像素内的源跟随器将感应节点上的电荷量转换为一个模拟电压信号。然后通过选择晶体管,这些模拟电压信号被按行或列的方式读出到芯片的边缘电路。
  4. 模数转换 (ADC): 芯片边缘的模拟前端电路对电压信号进行进一步处理(如放大、降噪),然后由模数转换器(ADC)将模拟电压信号转换为数字值。这些数字值代表了每个像素接收到的光照强度,即图像的像素数据。
  5. 数字信号处理: 转换后的数字数据经过进一步的数字信号处理(ISP – Image Signal Processor),包括颜色插值(如果使用的是拜耳阵列滤镜)、白平衡、伽马校正、降噪、压缩等,最终形成可用的数字图像文件。

请注意,上述过程描述的是一个典型的“有源像素传感器”(Active Pixel Sensor – APS),而CIS芯片正是APS技术的一种实现。每个像素内部的放大器是其“有源”的体现。

### 为什么【cis芯片】被如此广泛使用?

CIS芯片之所以能取代CCD成为主流,主要得益于其相对于CCD技术的诸多显著优势:

#### 功耗更低

CIS芯片采用CMOS工艺制造,其电路结构决定了它在运行时消耗的功率远低于CCD。这对于电池供电的设备(如智能手机、便携式相机)至关重要。在许多应用中,低功耗意味着更长的续航时间或更低的发热量。

#### 读出速度更快

CIS芯片可以实现对像素的并行读出。与CCD需要将电荷逐个像素地“转移”到芯片边缘进行读出不同,CIS的每个像素(或每列、每组像素)都有自己的读出电路,可以同时进行读出操作。这使得CIS能够轻松实现更高的帧率,捕捉快速移动的物体或用于高速视频拍摄。

#### 集成度更高

CIS芯片可以使用标准的CMOS半导体制造工艺线进行生产,与制造逻辑芯片(如处理器)的工艺兼容。这意味着可以将图像传感像素、信号处理电路(如放大器、ADC、甚至部分ISP功能)集成到同一颗芯片上,形成所谓的“片上系统”(System-on-Chip – SoC)。这大大简化了设备设计,减小了体积,并降低了整体成本。而CCD则需要单独的制造工艺,且其读出电路通常需要外部芯片。

#### 成本更具优势

由于可以利用成熟且大规模的CMOS工艺生产线,CIS芯片的制造成本相对较低,特别是对于大批量生产而言。这使得它能够被广泛应用于消费电子产品。

#### 可扩展性与技术演进

CMOS工艺的不断进步为CIS芯片带来了巨大的技术发展空间,例如像素尺寸的不断缩小(尽管存在物理极限)、BSI(背照式)技术的引入显著提高了感光能力、堆栈式(Stacked)CMOS技术的出现进一步提高了集成度和性能等。这些技术创新不断提升着CIS芯片的图像质量和功能多样性。

总结来说,CIS芯片凭借其低功耗、高速率、高集成度、低成本以及巨大的技术发展潜力,完美契合了现代数字成像设备的需求,尤其是在移动和嵌入式领域,因此被广泛采用。

### 【cis芯片】主要用在哪里?

CIS芯片的应用领域极其广泛,几乎涵盖了所有需要进行数字图像捕捉的场景。以下是一些主要的具体应用:

#### 智能手机和平板电脑

这是CIS芯片最大的应用市场。无论是前置摄像头还是后置摄像头,从入门级到高端旗舰,都无一例外地使用CIS芯片。对小型化、低功耗、高分辨率、快速对焦、视频录制等性能的需求,极大地推动了手机CIS技术的发展,如像素尺寸的优化、堆栈式技术的普及、慢动作视频、计算摄影所需的高速读出等。

#### 汽车领域

随着智能汽车和自动驾驶技术的发展,车载摄像头数量激增。CIS芯片被广泛应用于:

  • 倒车影像和环视系统 (Surround View): 提供车辆周围的实时图像。
  • 行车记录仪: 记录驾驶过程。
  • 高级驾驶辅助系统 (ADAS): 如车道偏离警告、前方碰撞预警、交通标志识别等,需要高动态范围(HDR)、良好的低光性能和可靠性。
  • 车内监控: 驾驶员监控系统(DMS)和乘客监控系统(OMS)。

汽车级CIS芯片需要满足严苛的车规级标准,对工作温度范围、可靠性、抗震动性等方面有特殊要求。

#### 安防监控

从传统的网络摄像机到智能监控系统,CIS芯片是核心的图像采集单元。安防监控领域对低光照条件下的成像能力(高灵敏度)、宽动态范围、高分辨率和视频流传输效率要求较高。

#### 医疗影像

微型化CIS芯片被用于内窥镜(如胃镜、肠镜、腹腔镜),使得医生能够通过细小的管路观察人体内部。此外,它们也用于牙科相机、眼底相机等医疗设备。医疗应用通常对尺寸、图像质量和消毒兼容性有特定要求。

#### 工业和机器视觉

在自动化生产线、质量检测、机器人视觉、条形码扫描、测量等工业应用中,CIS芯片提供了关键的视觉信息。这些应用可能对帧率(捕捉高速运动的物体)、分辨率、全局快门(避免运动畸变)、特定光谱响应或环境适应性有特殊要求。

#### 消费级相机

数码相机、运动相机(如GoPro)、无人机航拍相机等消费电子产品都依赖于CIS芯片提供高质量的图像和视频。

#### 其他应用

包括视频会议摄像头、笔记本电脑内置摄像头、游戏机体感设备、AR/VR头显的跟踪摄像头、扫描仪、玩具、以及一些科学研究设备等。

### 【cis芯片】成本大概多少?

CIS芯片的成本不是一个单一的固定数字,它受到多种因素的影响,差异巨大。从几毛钱人民币到几百甚至上千人民币的芯片都有。

#### 影响成本的关键因素

影响CIS芯片成本的主要因素包括:

  • 传感器尺寸和分辨率: 传感器尺寸越大,包含的像素越多,制造所需的硅晶圆面积就越大,成本越高。高分辨率芯片通常尺寸也更大,且制造良率可能受影响。
  • 技术复杂度: 采用更先进的技术,如背照式(BSI)、堆栈式(Stacked)、全局快门(Global Shutter)等,会增加制造工艺的复杂性和成本。特别是堆栈式CIS,需要额外的晶圆键合工艺。
  • 性能指标: 对低光灵敏度、动态范围、帧率、色彩还原、噪声水平等性能要求越高,通常意味着需要更复杂的像素设计和电路优化,成本随之增加。
  • 特殊功能和集成度: 如果芯片集成了更多的功能(如片上ISP、高速接口、特殊的信号处理单元),或者需要满足特殊的行业标准(如车规级可靠性),成本会显著上升。
  • 产量和市场需求: 大批量生产可以摊薄固定成本,降低单位芯片成本。市场供需关系也会影响芯片价格。

  • 晶圆代工厂和工艺节点: 在更先进、更昂贵的工艺线上生产(例如为了缩小像素尺寸或提高集成度)也会推高成本。
  • 封装形式: 不同的封装方式(如CSP – Chip Scale Package, COB – Chip on Board, BGA – Ball Grid Array等)成本不同。小型化、高密度的封装通常更昂贵。

#### 具体成本示例(仅供参考)

基于上述因素,我们可以粗略地给一些成本范围的概念(这些数字会随时间、市场和具体型号大幅波动,仅为说明差异):

  • 入门级手机摄像头或玩具相机用CIS: 尺寸较小,分辨率较低(如2MP~5MP),可能采用较成熟的FSI工艺,成本可能在几毛到几元人民币/颗。
  • 中端手机摄像头用CIS: 分辨率更高(如13MP~48MP),可能采用BSI工艺,成本可能在十几到几十元人民币/颗。
  • 高端手机主摄像头用CIS: 大尺寸(传感器尺寸大)、高分辨率(50MP以上甚至上亿像素)、堆栈式、先进的自动对焦技术等,成本可能在几十到上百元人民币/颗。
  • 车载或工业用高性能CIS: 需要满足特定严苛标准(如车规级)、高动态范围、全局快门等,成本可能在几十到几百元人民币/颗,甚至更高。

因此,“CIS芯片多少钱”是一个需要具体型号和应用场景才能回答的问题。

### 【cis芯片】如何工作(更深入技术层面)?

前面已经概述了基本工作原理,这里我们可以更深入地探讨一些关键技术点:

#### 像素结构:FSI vs. BSI

这是影响CIS感光性能的重要区别:

  • 前照式 (Front-Side Illumination – FSI): 这是较早的技术。光线从芯片正面入射,首先会经过像素内的金属布线层、晶体管等结构,然后才能到达下方的光电二极管。这些上层结构会遮挡部分光线,降低光电二极管接收到的光子数量,尤其是在像素尺寸很小的情况下,遮挡效应更明显,影响感光效率和低光性能。
  • 背照式 (Back-Side Illumination – BSI): 为了克服FSI的缺点,BSI技术被提出并广泛应用。在BSI工艺中,芯片晶圆被翻转过来,光线从晶圆的背面入射,直接照射到位于硅衬底表面的光电二极管。这样,上层的金属布线和晶体管等结构就不会阻挡入射光线,大大提高了光子的捕获效率(即量子效率),特别是在小像素尺寸下改善了低光性能和色彩还原。BSI工艺比FSI更复杂,成本也更高,但带来的性能提升是显著的。

#### 快门类型:Rolling Shutter vs. Global Shutter

快门类型决定了图像是在同一时刻捕捉的,还是逐行扫描捕捉的:

  • 卷帘快门 (Rolling Shutter): 这是目前绝大多数消费级CIS(如手机摄像头)采用的技术。像素阵列的每一行或每一列是依次开始和结束曝光并读出的。这意味着图像的不同部分是在不同的时间点捕捉的。当拍摄快速移动的物体时,可能会出现“果冻效应”(Jello Effect)、倾斜或摆动变形。优点是电路结构相对简单,易于实现高像素和高速读出,功耗较低。
  • 全局快门 (Global Shutter): 在全局快门模式下,所有像素几乎在同一时刻开始曝光,并在同一时刻结束曝光并开始读出(电荷被快速转移到每个像素内部的存储节点,然后顺序读出)。这能够捕捉到没有运动畸变的清晰图像。全局快门技术在工业视觉、高速摄影、需要精确同步的应用中非常重要。实现全局快门需要在每个像素中增加电荷存储单元和更复杂的控制电路,这会增加像素尺寸、降低填充因子(感光区域占比),或者需要更先进的工艺,因此成本和设计复杂度通常更高。

#### 信号处理关键环节

  • 关联双采样 (Correlated Double Sampling – CDS): CIS像素在复位后会有一个复位噪声。CDS技术通过测量像素复位后的电压和电荷转移后的信号电压两次,并计算它们之间的差值,从而有效抑制复位噪声和像素内的固定模式噪声(FPN – Fixed Pattern Noise),提高图像的信噪比。
  • 模数转换器 (ADC): 每个像素读出的模拟电压信号必须转换为数字值。高端CIS芯片通常采用柱状ADC(Column ADC),即每列像素或每组像素共享一个ADC,甚至每个像素都有一个ADC,这可以大大提高读出速度。ADC的精度(如10位、12位、14位)决定了能够表示的光照灰度级别,影响图像的细节和动态范围。

### 【cis芯片】是怎么制造出来的?

CIS芯片的制造是一个高度复杂且精密的半导体工艺过程,主要在无尘室中的晶圆厂进行。以下是简化的主要制造流程:

#### 硅晶圆准备

首先,从高纯度的硅单晶棒切割出薄的圆形硅片,即晶圆(Wafer)。这些晶圆是制造芯片的基础载体。

#### 光电二极管形成

通过离子注入等工艺,在硅衬底上形成对光敏感的光电二极管区域。这需要精确控制掺杂的类型和浓度,以优化光电转换效率和电荷收集能力。

#### CMOS电路层构建

使用标准的CMOS工艺流程,在光电二极管上方(FSI)或下方(BSI)构建像素内的晶体管(复位、传输、选择、源跟随器等)以及行/列选择、读出放大器等外围控制电路。这涉及到薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入等反复循环的步骤,形成多层结构。

#### 金属布线层

构建多层金属互连线(如铝或铜),用于连接各个晶体管、光电二极管以及将信号从像素读出到芯片边缘。这些金属层通过介质层(如二氧化硅)隔开,层与层之间通过通孔(Via)连接。在FSI工艺中,这些金属层位于光电二极管上方,会遮挡光线。

#### 特殊工艺步骤(如BSI或Stacked CIS)

  • BSI工艺: 在完成正面(电路侧)的工艺后,需要对晶圆进行减薄处理,使其变得非常薄,然后对背面进行处理,如形成微透镜阵列和彩色滤光片阵列(通常是拜耳阵列),让光线可以直接从背面入射到光电二极管。
  • Stacked CIS工艺: 需要制造至少两片晶圆:一片是像素阵列晶圆(包含光电二极管),另一片是逻辑电路晶圆(包含ISP、DRAM等更复杂的处理单元)。然后通过先进的晶圆键合技术(如混合键合),将这两片晶圆对准并连接起来,实现高速的垂直互连。这允许在不增加传感器面积的情况下集成更多的功能。

#### 彩色滤光片和微透镜

为了捕捉彩色图像,通常在每个像素上方制作彩色滤光片阵列(最常见的是拜耳阵列,红、绿、蓝滤镜按特定顺序排列)。在滤光片上方还会制作一层微透镜阵列,将入射到像素间隔区域的光线汇聚到光电二极管区域,进一步提高感光效率。这些步骤通常在背面完成(对于BSI)。

#### 晶圆测试与切割

在完成所有制造步骤后,对整个晶圆上的每个芯片进行电性能测试,标记出有缺陷的芯片(“坏Die”)。然后使用金刚石锯将晶圆切割成单个的芯片裸片(Die)。

#### 芯片封装

合格的芯片裸片被安装到封装基板上,通过焊线或倒装焊等技术连接到外部引脚,然后用塑料、陶瓷或玻璃等材料进行封装保护。封装形式多种多样,例如CSP(芯片尺寸封装)非常小巧,常用于手机。封装后的芯片才能被焊接到电路板上使用。

#### 最终测试

封装后的芯片还要进行最后的电性能测试和图像性能测试,确保其满足规格要求,然后才能出厂。

从最初的硅晶棒到最终封装完成的CIS芯片,这是一个涉及数百甚至上千个工艺步骤的复杂过程,体现了现代半导体制造的尖端水平。不同厂商、不同型号的CIS芯片在具体的工艺细节上会有很大差异,以实现特定的性能目标。

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